基础信息✨:Rudolph MPC 200XCu 是鲁道夫的二手膜厚测试仪,专门针对半导体铜(Cu)薄膜测量设计(比如铜互连层、封装铜层等),适配 200mm/300mm 晶圆,很适合产线铜膜质量监控或研发的铜层参数检测场景。
参数配置📊:
测量范围:0.1nm 到数微米,覆盖超薄到常规铜膜厚度;
精度:铜膜测量精度 ±0.1nm,重复性误差≤0.5%(3σ);
兼容性:支持 200mm/300mm 晶圆,能对接 MES 系统;
效率:每小时可测 80-100 片晶圆,全光谱快速扫描。
核心优势💪:
铜膜专项优化:内置铜材料数据库,适配不同工艺的铜膜(电镀、溅射等);
稳定性好:二手设备保养得当的话,光学模块漂移小,自动校准方便;
操作简单:界面直观,新手培训后能快速上手,数据追溯便捷。
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